3. パソコンの操作画面の説明

　
　
　
　　１：標準（リング状）回収のレシピ作成


　　　　開始半径、終了半径等で回収範囲の設定をします。

　　　　回収時の接線速度、回収液保持用N2ガス量、その他を設定します。

　





　　２：側面（ベベル）回収のレシピ作成

　　　　走査半径、回収時の接線速度等を設定します。


　

　　３：正方形回収のレシピ作成

　　　　開始半径、終了半径等で回収範囲の設定をします。

　　　　回収時の接線速度、回収液保持用N2ガス量、その他を設定します。



　 　

　　　　■疎水面回収と親水面回収のレシピ作成の相違点

　　　　　　　○疎水面回収の場合

　　　　　　　１）　N2流量を0（ゼロ）L/min に設定します。

　　　　　　　２）　液供給高さを入力します。

　　　　　　　○親水面回収の場合

　　　　　　　１）　N2流量を入力します。

　　　　　　　２）　ウェーハの厚さを入力します。