5. 親水面サンプリングの動作説明

　


　　　　■正方形デバイスでの動作説明をします。


　
　　　１．準備


　　　　　ａ．パソコンでサンプリングするレシピを選択します


　　　　

　　　　　画面の赤色部分が回収範囲。回収を終えた範囲は緑色に変わります。




　　　　　ｂ．正方形状デバイス実装用のアダプターを回転台にセットします。



　　　　　ｃ．回収用保持具をサンプリングアームの上に置きます。



　　　　　ｄ．回収液を準備しておきます。





　　　２．ウェーハ回転台へデバイスを乗せる


　　　　　リフターを上げ、デバイスをデバイス実装用のアダプターに正しくセットします。

　　　　　終わりましたら、リフターを下げます。






　　　３．パソコンからの操作

　　　　　「サンプリング開始」ボタンを押すと、サンプリング画面に移行します。

　　　　　保持具・ウェーハが正しくセットされていることを確認したのち、
　　　　　「作業開始」ボタンを押すと、サンプリングが始まります。






　　　４．サンプリング動作