4. 疎水面サンプリングの動作説明

　
　
　　　　１．準備


　　　　　　ａ．パソコンでサンプリングするレシピを選択します。


　　　　　

　　　　　　画面の赤色部分が回収範囲。回収を終えた範囲は緑色に変わります。


　　　　　　ｂ．３個の芯出しピンをウェーハサイズに合わせてセットします。


　　　　　　







　　　　　　ｃ．回収用保持具をサンプリングアームの上にセットします。


　　　　　　







　　　　　　ｄ．ウェーハ表面は別途VPD(気相分解)処理を行い、疎水面になっていることが必要です。



　　　　　　ｅ．回収液を準備しておきます。

　
　
　　　　 ２．ウェーハ回転台へウェーハを乗せる


　　　　　　リフターを上げ、ウェーハを３点の芯出しピンに正しくセットします。

　　　　　　終わりましたら、リフターを下げます。



　　　　　　







　　　　３．パソコンからの操作

　　　　　「サンプリング開始」ボタンを押すと、サンプリング画面に移行します。

　　　　　保持具・ウェーハが正しくセットされていることを確認したのち、
　　　　　「作業開始」ボタンを押すと、サンプリングが始まります。




　　　　　







　　　　４．サンプリング動作

　　　　　　サンプリングアームがウェーハ上に移動し、所定の高さに下降したことを確認（「NEXT」ランプ点灯）
　　　　　してから、回収液をマイクロピペットで保持具の中にゆっくりと入れます。

　　　　　　回収液を入れ終わったら、「NEXT」ボタンを押すと、サンプリングを開始します。

　　　　　　サンプリングが終わると、「NEXT」ランプが点滅します。

　　　　　　アームを上げない状態で、マイクロピペットで保持具の上から、回収液を吸い取り、回収します。

　　　　　　回収が完了しましたら、「NEXT」ボタンを押すと、アームが原点に戻ります。

　　　　　　回収液がウェーハ上に残っている時には、さらにマイクロピペットで吸い上げ、回収してください。