2. 装置の回収能力

　　　　回収液の液量は、100～2000μLの範囲で使用可能です。

　　　　但し、ベベルサンプリングでは170μL程度です。

　　　　サンプリング速度は接線速度で0.1～50mm/secまで設定できます。
　　　　ただし実際のサンプリング速度は、お客様所有のウェーハにて回収率をご確認の上、
　　　　問題なくサンプリングできる速度範囲内で決定して頂きます。



      ● 金属回収の能力

　　　　■SC-8000自体のメタルのブランク度は次のとおりです。

　　　　・表面をクリーニングした300mmウェーハ表面を3回 全面回収します。
　　　　・サンプリング条件は、接線速度30mm/sec、ピッチ4mm、液量100uL、回収液HF+H2O2混合液
　　　　・対象は10元素(Na,Mg,Al,K,Ca,Cr,Fe,Ni,Cu,Zn)です。
　　　　・3回の分析値はそれぞれ5E8 atoms/cm2以下です。

　　　　[１]　試験方法

　　　　　　　　清浄な Si ウェーハ上に金属不純物を 2ng 添加（液添加後、乾燥）し、希薄酸で回収
　　　　　　　操作を３回繰り返した。
　　　　
　　　　[２]　試験内容

　　　　　　　（１）試料
　　　　　　　　　　300mmウェーハ
　　　　　　　（２）回収範囲
　　　　　　　　　　ウェーハ外周3mmを除く
　　　　　　　（３）ウェーハ汚染内容
　　　　　　　　　　表面を洗浄後、標準液をウェーハ上に分散滴下し、乾燥
　　　　　　　（４）回収液
　　　　　　　　　　酸性薬液
　　　　　　　（５）手順
　　　　　　　　　　回収範囲のサンプリングを３回行い、各回の回収液を ICP-MS にて分析
　　　　　　　（６）評価成分
　　　　　　　　　　Li、Be、Na、Mg、Al、K、V、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Sr、Y、Ag、Cd、Ba、
　　　　　　　　　Pb、Bi、Ce の２２元素

　　　　[３]　SC-8000の回収条件設定値

　　　　　　　（１）回収液量　・・・・・・・・・・・・・・・　500uL

　　　　　　　（２）接線速度　・・・・・・・・・・・・・・・　3mm/sec

　　　　　　　（３）送りピッチ　・・・・・・・・・・・・・・ 　8mm

　　　　　　　（４）シールガス流量　・・・・・・・・・　 15L/min

　　● イオン回収の能力

　　　　SC-8000自体のイオン系のブランク度および回収能力は次のとおりです。

　　　　[１]　試験内容

　　　　　　　（１）試料

　　　　　　　　　　300mmウェーハ（自然酸化膜付き）
　　　　　　　（２）抽出範囲
　　　　　　　　　　ウェーハ外周3mmを除く内側
　　　　　　　（３）評価成分
　　　　　　　　　　フッ化物イオン(F-)、塩化物イオン(Cl-)、硝酸イオン(NO3-)、硫酸イオン（SO42-）、

　　　　　　　　　ナトリウムイオン(Na+)、カリウムイオン(K+)、アンモニウムイオン(NH4+)

　　　　　　　（４）測定
　　　　　　　　　　抽出液中の各成分濃度をイオンクロマトグラフ（IC）で測定

　　　　[２]　SC-8000の回収条件設定値
　　　　　　　（１）回収液量（純水）　・・・・・・・・・　2mL

　　　　　　　　　　サンプリング後の液量　・・・・  1.7～1.8mL

　　　　　　　（２）接線速度　・・・・・・・・・・・・・・・　5mm/sec
　　　　　　　（３）送りピッチ　・・・・・・・・・・・・・・　8mm

　　　　　　　　　　サンプリング時間　・・・・・・・　30min

　　　　　　　（４）シールガス流量　・・・・・・・・・　15L/min
　　　　　　　（５）サンプリング回数　・・・・・・・・　１回