6. 側面（ベベル）サンプリングの動作説明

　
　
　
　　　１．準備




　　　　　ａ．パソコンでサンプリングするレシピを選択します



　　　　　ｂ．回収用保持具をサンプリングアームの上にセットします。

　　　　　



　　　　　ｃ．ウェーハ表面は別途VPD(気相分解)処理を行い、疎水面になっていることが必要です。



　　　　　ｄ．回収液を準備しておきます。





　　　２．ウェーハ回転台へウェーハを乗せる


　　　　　リフターを上げ、ウェーハを３点の芯出しピンに正しくセットします。

　　　　　終わりましたら、リフターを下げます。







　　　３．パソコンからの操作

　　　　　「サンプリング開始」ボタンを押すと、サンプリング画面に移行します。


　　　　　保持具・ウェーハが正しくセットされていることを確認したのち、「作業開始」ボタンを押します。







　　　４．サンプリング動作

　　　　　「作業開始」ボタンを押すと、サンプリングが始まります。
　　　　　ベベルサンプリングでは、この時点で回収液を保持具に供給します。
　　　　　回収液の供給が完了しましたら、「NEXT」ボタンを押します。